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潔凈室（無塵室）標準及等級劃分

潔凈室（無塵室）標準及等級劃分 
  （一）潔凈室之定義  
　　潔凈室（Clean Room），亦稱為無塵室或清凈室。  
　「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。  
　　潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。   

（二）潔凈室之等級  
　　世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。  
　　209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。  
　　美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。  

 （三）潔凈室控管之項目  
　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。  
　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。  
　　3. 溫度和濕度之控制。  
　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。  
　　5. 有害氣體之排除。  
　　6. 結構物與隔間之氣密性。  
　　7. 靜電之防制。  
　　8. 電磁干擾預防。  
　　9. 安全因素之考慮。  
　　10. 節(jié)能之考量。  
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